TEMPERATURE PROBE AND A METHOD FOR PRODUCING THE SAME

摘要

Ein Temperaturmessfühler (100) bestehend aus einem Substrat (102), einer Widerstandsschicht (104), einer Oxidschicht (110) und einer Schutzschicht (112) wird hergestellt, indem die strukturierte Widerstandsschicht (104) auf einer Oberfläche des Substrats (102) gebildet wird, die gebildete Widerstandsschicht (104) oxidiert wird, und anschliessend die Schutzschicht (112) auf zumindest einem Teil der Widerstandsschicht (104) aufgebracht wird.