METHOD AND DEVICE FOR PLASMA COATING SURFACES

摘要

Verfahren zur Beschichtung von Oberflächen, bei dem mit Hilfe eines Plasmas ein Precursormaterial zur Reaktion gebracht und das Reaktionsprodukt auf der Oberfläche (34) abgeschieden wird, wobei sowohl die Reaktion als auch das Abscheiden unter Atmosphärendruck erfolgen, dadurch gekennzeichnet, dass durch Hindurchleiten eines Arbeitsgases durch eine Anregungszone (12) ein Plasmastrahl (28) erzeugt wird und das Precursormaterial mit einer Lanze (32) getrennt vom Arbeitsgas in den Plasmastrahl eingespeist wird.