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发明名称
COMPOSITIONS AND METHODS FOR SELECTIVE REMOVAL OF METAL ALLOY AFTER METAL SILICIDE FORMATION
摘要
申请公布号
IL188082(D0)
申请公布日期
2008.03.20
申请号
IL20070188082
申请日期
2007.12.12
申请人
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人
分类号
H01L
主分类号
H01L
代理机构
代理人
主权项
地址
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