发明名称 COMPOSITIONS AND METHODS FOR SELECTIVE REMOVAL OF METAL ALLOY AFTER METAL SILICIDE FORMATION
摘要
申请公布号 IL188082(D0) 申请公布日期 2008.03.20
申请号 IL20070188082 申请日期 2007.12.12
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人
分类号 H01L 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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