首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR CLEANING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES AFTER POLISHING OF COPPER FILM
摘要
申请公布号 IL135610(D0) 申请公布日期 2001.05.20
申请号 IL19980135610 申请日期 1998.10.06
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人
分类号 C11D1/00;C11D3/02;C11D7/02;C11D7/08;C11D7/26;C11D11/00;C23G1/10;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3205;H01L21/321;(IPC1-7):H01L 主分类号 C11D1/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com