发明名称 |
用于定向自组装的共聚物配制品、其制造方法和包括其的物品 |
摘要 |
本文中公开一种包括将包括嵌段共聚物的组合物安置于衬底上的方法;其中所述嵌段共聚物包括第一聚合物和第二聚合物;其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同,并且所述嵌段共聚物形成相分离结构;和添加剂聚合物;其中所述添加剂聚合物包括可有效与其上安置所述添加剂聚合物的衬底反应的反应性部分;并且其中所述添加剂聚合物包括化学上和结构上与所述嵌段共聚物中的一种聚合物相同的均聚物,或其中所述添加剂聚合物包括与所述嵌段共聚物的一个嵌段具有优先相互作用的无规共聚物;和溶剂;和使所述组合物退火。 |
申请公布号 |
CN105742161A |
申请公布日期 |
2016.07.06 |
申请号 |
CN201510959023.X |
申请日期 |
2015.12.18 |
申请人 |
罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司 |
发明人 |
P·D·胡斯泰特;P·特雷福纳斯三世;S-W·张 |
分类号 |
H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
陈哲锋;胡嘉倩 |
主权项 |
一种方法,其包括:将组合物安置于衬底上,所述组合物包括:嵌段共聚物;其中所述嵌段共聚物包括第一聚合物和第二聚合物;其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同并且所述嵌段共聚物形成相分离结构;添加剂聚合物;其中所述添加剂聚合物包括可有效与其上安置所述添加剂聚合物的衬底反应的反应性部分;并且其中所述添加剂聚合物包括化学上和结构上与所述嵌段共聚物中的一种聚合物相同的均聚物,或其中所述添加剂聚合物包括与所述嵌段共聚物的一个嵌段具有优先相互作用的无规共聚物;和溶剂;和使所述组合物退火以促进所述添加剂聚合物键合或络合或配位到所述衬底上,并且促进所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物之间的域分离以形成由所述第一聚合物和所述第二聚合物形成的周期域的形态;其中所述周期域的纵向轴线平行于所述衬底或其中所述域是球体的。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |