发明名称 具有可调式阀门之真空容室构造
摘要 本创作系在提供一种具有可调式阀门之真空容室构造,系由数个连续头尾相接之真空容室所构成,每二相邻容室之间及二外侧容室上均具有一供进出之阀门,每一阀门包含一直立转轴及一与转轴连动之门板,并藉数支分布螺固在门板上之调整杆来调整门板之倾斜角度,使得阀门在装配及制造上更为简便,也可用来矫正门板因长期使用产生的变形,以维持良好真空度,除此之外,连续多站式之真空容室也带来简化制程、提高产能之功效。
申请公布号 TW437884 申请公布日期 2001.05.28
申请号 TW089209705 申请日期 2000.06.07
申请人 和立联合科技股份有限公司 发明人 何松朋;周孟儒;苏兆鸣
分类号 F16K23/00 主分类号 F16K23/00
代理机构 代理人 恽轶群 台北巿南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种具有可调式阀门之真空容室构造,该真空容室设有进出口,上述阀门系用来封闭前述进出口,而阀门乃包含:一转轴,系活动枢设于真空容室之侧壁上;一传动机构,系与该转轴连结传动,而可使转轴呈轴向转动;一动力源,系可驱动上述传动机构;一连接板,系固接在转轴上而可随转轴摆动;一门板,系固接有数个与连接板活动结合之调整杆,其可随连接板摆动而紧密封闭真空容室之进出口,藉调整每一调整杆与连接板相对结合的位置,可控制门板与连接板之间的距离及角度;及数个弹性元件,系对应每一调整杆而设于门板与连接板之间,并恒将门板推离连接板。2.依据申请专利范围第1项所述具有可调式阀门之真空容室构造,其中,每一调整杆远离门板之一端系贯穿连接板,穿出连接板之部份形成一螺纹段,该螺纹段上螺固有二螺帽。3.依据申请专利范围第1项所述具有可调式阀门之真空容室构造,其中,在每一弹性元件与连接板之间装设有一关节装置,该关节装置包含一抵靠在连接板上之凹块,此凹块上远离连接板之一侧内凹形成一半球形凹槽,在凹块上抵接有一凸块,该凸块具有一对应抵贴于四块之凹槽的半球形凸部。4.依据申请专利范围第1项所述具有可调式阀门之真空容室构造,其中,上述真空容室系多个连续相接,而前述进出口即设于每二相邻真空容室间的一隔板,以及二端真空容室之侧壁上,而对应每一隔板均装设有上述阀门。5.依据申请专利范围第4项所述具有可调式阀门之真空容室构造,其中,对应每一隔板之阀门的传动机构系为一旋转缸。6.依据申请专利范围第4项所述具有可调式阀门之真空容室构造,其中,在每一需要冷却之隔板上装设有一用来散热之冷却水管。图式简单说明:第一图所示系本创作一较佳可行实施例之俯视剖面示意图。第二图所示系本创作一较佳可行实施例之侧视剖面示意图。第三图所示系本创作一较佳可行实施例之放大前视图。第四图所示系第一图中外部阀门之放大图。第五图所示系本创作一较佳可行实施例之关节装置的立体分解图。第六图所示系第二图中内部阀门之放大图。第七图所示系本创作一较佳可行实施例需要冷却之隔板的正视图。
地址 新竹巿科学工业园区工业东四路十五号
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