主权项 |
1.一种具有可调式阀门之真空容室构造,该真空容室设有进出口,上述阀门系用来封闭前述进出口,而阀门乃包含:一转轴,系活动枢设于真空容室之侧壁上;一传动机构,系与该转轴连结传动,而可使转轴呈轴向转动;一动力源,系可驱动上述传动机构;一连接板,系固接在转轴上而可随转轴摆动;一门板,系固接有数个与连接板活动结合之调整杆,其可随连接板摆动而紧密封闭真空容室之进出口,藉调整每一调整杆与连接板相对结合的位置,可控制门板与连接板之间的距离及角度;及数个弹性元件,系对应每一调整杆而设于门板与连接板之间,并恒将门板推离连接板。2.依据申请专利范围第1项所述具有可调式阀门之真空容室构造,其中,每一调整杆远离门板之一端系贯穿连接板,穿出连接板之部份形成一螺纹段,该螺纹段上螺固有二螺帽。3.依据申请专利范围第1项所述具有可调式阀门之真空容室构造,其中,在每一弹性元件与连接板之间装设有一关节装置,该关节装置包含一抵靠在连接板上之凹块,此凹块上远离连接板之一侧内凹形成一半球形凹槽,在凹块上抵接有一凸块,该凸块具有一对应抵贴于四块之凹槽的半球形凸部。4.依据申请专利范围第1项所述具有可调式阀门之真空容室构造,其中,上述真空容室系多个连续相接,而前述进出口即设于每二相邻真空容室间的一隔板,以及二端真空容室之侧壁上,而对应每一隔板均装设有上述阀门。5.依据申请专利范围第4项所述具有可调式阀门之真空容室构造,其中,对应每一隔板之阀门的传动机构系为一旋转缸。6.依据申请专利范围第4项所述具有可调式阀门之真空容室构造,其中,在每一需要冷却之隔板上装设有一用来散热之冷却水管。图式简单说明:第一图所示系本创作一较佳可行实施例之俯视剖面示意图。第二图所示系本创作一较佳可行实施例之侧视剖面示意图。第三图所示系本创作一较佳可行实施例之放大前视图。第四图所示系第一图中外部阀门之放大图。第五图所示系本创作一较佳可行实施例之关节装置的立体分解图。第六图所示系第二图中内部阀门之放大图。第七图所示系本创作一较佳可行实施例需要冷却之隔板的正视图。 |