| 摘要 |
Ein Dispensiergerät (100) zur Deposition von Tropfen auf mindestens einem Substrat (1) umfasst eine Halteeinrichtung (10) zur Aufnahme des Substrats (1), eine Dispensiereinrichtung (20) zur Deposition von mindestens einem Tropfen auf dem Substrat (1), eine Stelleinrichtung (30), mit der die Dispensiereinrichtung (20) gekoppelt und relativ zu der Halteeinrichtung (10) beweglich ist, eine Detail-Kamera (40) zur Erfassung eines Bildes des Substrats (1) und zur Ermittlung von Detail-Substratkoordinaten des Substrats (1) relativ zu der Dispensiereinrichtung (20), wobei die Stelleinrichtung (30) in Abhängigkeit von den Detail-Substratkoordinaten ansteuerbar ist, um die Dispensiereinrichtung (20) über dem Substrat (1) zu positionieren, und eine Global-Kamera (50), die ein geringeres Auflösungsvermögen und ein größeres Sichtfeld aufweist als die Detail-Kamera (40) und zur Erfassung eines Bildes der Halteeinrichtung (10) und zur Ermittlung von Global-Substratkoordinaten des Substrats (1) auf der Halteeinrichtung (10) vorgesehen ist, wobei die Stelleinrichtung (30) in Abhängigkeit von den Global-Substratkoordinaten ansteuerbar ist, um die Detail-Kamera (40) über dem Substrat (1) zu positionieren. Es wird auch ein Verfahren zur Deposition von Tropfen auf mindestens einem Substrat beschrieben. |
