| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Magnetronanordnung, die ein Gehäuse, eine in dem Gehäuse angeordnete Magnetanordnung sowie ein an dem Gehäuse angebrachtes Planartarget aus Targetmaterial mit einer ebenen Targetoberfläche aufweist, wobei das Planartarget derart relativ zu der Magnetanordnung angeordnet ist, dass das von der Magnetanordnung erzeugte Magnetfeld das Planartarget durchdringt, wobei das Planartarget an einem die Targetoberfläche seitlich begrenzenden, nicht zur Targetoberfläche gehörenden Randbereich eine geometrische Struktur aufweist, die mit einem am Gehäuse lösbar angebrachten Befestigungsmittel zusammenwirkt, und das Befestigungsmittel bei senkrechtem Blick auf die Targetoberfläche von der Targetoberfläche vollständig überdeckt ist. |
