一种检测金属缺陷的方法

摘要

本发明提供一种检测金属缺陷的方法，包括步骤：1)提供待检测的金属线，所述金属线埋设在介质层中由介质层隔离；2)去除其中一条金属线一端上的介质层，露出该端头，并用探针接触；3)用电子束打在同一条金属线的另一端，并将电子束移向探针端，或者用电子束打在另一条金属线的一端上，并将电子束沿着金属线移动，电子束移动过程中，从探针端读取吸收电流值，若发现电流值出现变化，则说明存在金属缺陷。本发明利用电子束作为电流源，通过电子束移动引起电流的变化来探测并定位缺陷的位置。本发明不需要将整条金属线全部暴露，不会引进新的金属缺陷，并且操作简单，适用于工业化生产。

主权项

一种检测金属缺陷的方法，其特征在于，所述方法至少包括：1)提供待检测的金属线，所述金属线埋设在介质层中由介质层隔离；2)去除其中一条金属线一端上的介质层，露出该端头，并用探针接触；3)用电子束打在同一条金属线的另一端，并将电子束移向探针端，或者用电子束打在另一条金属线的一端上，并将电子束沿着金属线移动，电子束移动过程中，从探针端读取吸收电流值，若发现电流值出现变化，则说明在电流变化处存在金属缺陷。