发明名称 PROCEDIMENTO PER LA PRODUZIONE DI CIRCUITI INTEGRATI VLSI E PRODOTTO OTTENUTO
摘要
申请公布号 IT7949184(D0) 申请公布日期 1979.05.25
申请号 IT19790049184 申请日期 1979.05.25
申请人 ROCKWELL INTERNATIONAL CORPORATION SOCIETA' DELLO STATO DEL DELAWARE 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/033;H01L21/285;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8247;H01L27/112;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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