发明名称 ACT槽之排水模组
摘要 本创作系有关于一种ACT槽之排水模组,其包括一石英槽、一外槽以及一下排水管,该石英槽系容纳有一定量之反应液,其底部设有加热器将反应液加热至一定温度,该外槽系将石英槽容纳于其中并提供冷却水使石英槽冷却,该下排水管之管口系设于外槽内部之适当高度处,一旦外槽内部之冷却水超过该高度便可以由管口排出,其中该下排水管更包括一限流阀和一温度感应器,若石英槽发生破裂时反应液将会流入外槽并与冷却水混合成温度较高之液体,当这些液体由下排水管排出时该温度感应器将会发出警告讯号,而该限流阀可以控制流入下排水管液体的量使反应液不会流失太快,因此该加热器会在反应液快流完之前降温至反应液之燃点以下而不会造成反应液燃烧。
申请公布号 TW440053 申请公布日期 2001.06.07
申请号 TW089200622 申请日期 2000.01.14
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 林成芝
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 郑煜腾 台北巿松德路一七一号二楼
主权项 1.一种ACT槽之排水模组,其包括:一石英槽,其内部系容纳有可燃性之反应液,其中该石英槽系与一循环系统相连接使反应液控制在一定之水位高度,又该石英槽内部更设有加热器以加热反应液;一外槽,系可以将上述石英槽容纳于其中,该外槽系与一冷却水源相连接,该冷却水源并不断地提供冷却水以冷却石英槽;以及一下排水管,其设有一温度感应器,该下排水管之管口系设于外槽内且高于加热器表面之适当高度处,若外槽内部之冷却水超过管口高度即藉由该下排水管排出;若石英槽发生破裂时,其内部之反应液将与外槽之冷却水混合成温度较高之液体,该液体在流入下排水管时,该温度感应器将因为温度升高而发出警告讯号,同时上述石英槽之循环系统将会停止循环,而该加热器将会停止加热。2.如申请专利范围第1项所述之ACT槽之排水模组,其中该下排水管更设有一限流阀,当石英槽破裂其内部之反应液不会迅速的流失,因此在反应液流光之前该加热器已经下降至反应液之燃点以下,所以不会造成反应液燃烧。3.如申请专利范围第1项所述之ACT槽之排水模组,其中该下排水管之下方系设有一缓冲室,该温度感应器系设于其中。4.如申请专利范围第3项所述之ACT槽之排水模组,其中该缓冲室更包括一第一管路和第二管路,该第一管路设有一自动感应阀可自动地将冷却水排出,该第二管路设有一手动阀可以手动方式将冷却水排出。5.如申请专利范围第1项所述之ACT槽之排水模组,其中该外槽更包括一泄水管,该泄水管具有一手动阀可以手动方式将外槽内部之液体排出。6.如申请专利范围第1项所述之ACT槽之排水模组,其中该外槽更包括一上排水管,其系高于下排水管一适当高度,当外槽内部之液体水位高于上排水管时系可以由该处流至外界。7.如申请专利范围第1项所述之ACT槽之排水模组,其中该石英槽内部之加热器其表面温度系为摄氏1000度,并可以将反应液加热至摄氏115度。8.如申请专利范围第1项所述之ACT槽之排水模组,其中该温度感应器在感应到温度超过摄氏60度时将会发出警告讯号。9.如申请专利范围第1项所述之ACT槽之排水模组,其中该石英槽内部之反应液系为易燃性液体。10.如申请专利范围第1项所述之ACT槽之排水模组,其中该石英槽内部之加热器系以两个为最佳。图式简单说明:第一图系为习知技术之ACT槽之排水模组示意图。第二图系为本创作之ACT槽之排水模组示意图。
地址 新竹科学工业园区新竹县园区三路一二一号