发明名称 晶圆表面重新布置构造
摘要 一种晶圆表面重新布置构造,该晶圆主要包含数个晶片及数条切道。该晶片表面包含一绝缘层、数个第一开口及数个第二开口。该晶片表面原设有数个焊垫,该晶片表面另重新布置数条引线并被该绝缘层覆盖,该引线则通过相对应的第一开口及第二开口。该绝缘层主要设有数个第一开口供形成焊垫进行打线制程或植球制程,及设有数个第二开口供形成焊垫进行测试及灼烧制程。
申请公布号 TW440054 申请公布日期 2001.06.07
申请号 TW089201661 申请日期 2000.01.28
申请人 南茂科技股份有限公司 发明人 刘安鸿;曾元平;陈寿康
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 陈启舜 高雄巿苓雅区中正一路二八四号十二楼
主权项 1.一种晶圆表面重新布置构造,该晶圆表面包含:数个晶片,其排列于该晶圆上;数条切道,其相互交错并隔离每一晶片;数个焊垫,其设于该晶片表面上;数条引线,其电性连接于该焊垫并进行重新布置至晶片之一预定位置;一绝缘层,其覆盖于该焊垫及引线上;数个第一开口,其设置于该绝缘层上供导线裸露;及数个第二开口,其设置于该绝缘层上供导线裸露;其中该第一开口及相对应的第二开口经引线连接至相对应的焊垫。2.依申请专利范围第1项之晶圆表面重新布置构造,其中该第一开口及第二开口分别位于焊垫的两侧。3.依申请专利范围第1项之晶圆表面重新布置构造,其中该第一开口上形成一锡球供进行覆晶焊接制程。4.依申请专利范围第1项之晶圆表面重新布置构造,其中该第二开口上形成一测试锡球供进行测试制程及灼烧制程。5.依申请专利范围第4项之晶圆表面重新布置构造,其中该第二开口上形成一测试锡球供进行测试制程及灼烧制程,该锡球的高度高于测试锡球的高度,使得该晶片在焊接于基板上时,避免该测试锡球的高度过高而阻碍该晶片与基板的结合。6.依申请专利范围第1项之晶圆表面重新布置构造,其中该第二开口上形成一测垫供进行测试制程及灼烧制程。图式简单说明:第一图:习用美国专利第5,600,257号半导体晶圆测试及灼烧装置之分解立体图;第二图:本创作较佳实施例晶圆之上视图;第三图:本创作第二图之局部放大图;第四图:本创作较佳实施例晶圆进行重新布置后之上视图;第五图:本创作第四图沿5-5线之剖面图;第六图:本创作第一较佳实施例晶片进行重新布置后之剖视;及第七图:本创作第二较佳实施例晶片进行重新布置后之剖视。
地址 新竹科学工业园区新竹县研发一路一号