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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03163876(A) 申请公布日期 1991.07.15
申请号 JP19890302128 申请日期 1989.11.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 NISHIOKA TAIJO;OJI YUZURU;USHIYAMA MASAHIRO;II EFU DA SHIRUBA JIYUNIA;OYU SHIZUNORI;ITOGA TOSHIHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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