发明名称 ELECTRON BEAM BIPRISM
摘要
申请公布号 JPH03163400(A) 申请公布日期 1991.07.15
申请号 JP19890303918 申请日期 1989.11.22
申请人 JEOL LTD 发明人 OYAMA JUNICHI
分类号 G21K1/00;G03H5/00;H01J37/26 主分类号 G21K1/00
代理机构 代理人
主权项
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