| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM OF FERROELECTRIC SUBSTANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0442812(A) |
申请公布日期 |
1992.02.13 |
| 申请号 |
JP19900146218 |
申请日期 |
1990.06.06 |
| 申请人 |
TOSOH CORP |
发明人 |
WATANABE MASAHIRO;OSADA HIRONARI;SAKAI NAOMICHI |
| 分类号 |
C01G25/00;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
C01G25/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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