发明名称 METHOD FOR SELECTIVE FORMATION OF DIAMOND FILM
摘要
申请公布号 JPH05270986(A) 申请公布日期 1993.10.19
申请号 JP19920071433 申请日期 1992.03.27
申请人 发明人
分类号 C30B25/04;C30B29/04;H01L21/205;H01L23/14;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C30B25/04
代理机构 代理人
主权项
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