| 发明名称 |
POLYCRYSTALLINE SI FILM FORMING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0855808(A) |
申请公布日期 |
1996.02.27 |
| 申请号 |
JP19940192984 |
申请日期 |
1994.08.17 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MORI MIKIO;KAKINUMA HIROAKI |
| 分类号 |
C30B29/06;C23C16/02;C23C16/24;H01L21/205;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
