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发明名称 VACUUM MICROELECTRONIC DEVICE AND METHODOLOGY FOR FABRICATING SAME
摘要
申请公布号 EP0755568(A1) 申请公布日期 1997.01.29
申请号 EP19950932163 申请日期 1995.10.11
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 KHAN, BABAR, A.;CAMMACK, DAVID, A.;PINKER, RONALD
分类号 H01J9/24;G02F1/13357;H01J9/00;H01J9/02;H01J9/14;H01J9/26;H01J9/28;H01J17/49;H01J19/02;H01J19/38;H01J19/54;H01J19/58;H01J19/62;H01J19/66;H01J21/10;H01J21/36;H01J61/00;H01J61/30;H01J61/82;H01J65/00;H01L21/02;H01S3/03;H01S3/097;H01S3/0973;(IPC1-7):H01J21/10 主分类号 H01J9/24
代理机构 代理人
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