发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE, HYBRID SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10340960(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970344772 申请日期 1997.12.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAUCHI TAKEOKI;HONGO MIKIO;MIZUKOSHI KATSURO;SHIMASE AKIRA;ARIGA AKIHIKO;IKEDA SHUJI;SAEKI AKIRA
分类号 H01L21/82;G11C29/00;G11C29/04;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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