发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE, HYBRID SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10340960(A) |
申请公布日期 |
1998.12.22 |
申请号 |
JP19970344772 |
申请日期 |
1997.12.15 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIYAUCHI TAKEOKI;HONGO MIKIO;MIZUKOSHI KATSURO;SHIMASE AKIRA;ARIGA AKIHIKO;IKEDA SHUJI;SAEKI AKIRA |
分类号 |
H01L21/82;G11C29/00;G11C29/04;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/82 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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