| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10340889(A) |
申请公布日期 |
1998.12.22 |
| 申请号 |
JP19970148938 |
申请日期 |
1997.06.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAWASAKI HIROMICHI;TSUNEKAWA SUKEYOSHI;FUJITO TOSHIAKI;SAKANO SUSUMU |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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