发明名称 INNER LEAD BONDING METHOD AND APPARATUS THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11251371(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980049881 申请日期 1998.03.02
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 NAKAMURA SHINICHI;MORI YOSHIAKI;AOKI KOJI;KURASHIMA YOHEI;KUWABARA KEIJI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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