发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11251424(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980051600 申请日期 1998.03.04
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAUCHI MICHIKO
分类号 H01L21/76;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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