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<p>Verfahren zur Kontrolle eines Schneid- oder Sägeprozesses, insbesondere bei der Herstellung von Siliciumscheiben für Solarzellen, bei dem die akustische Emission beim Schneid- oder Sägevorgang gemessen und dieses Signal als Regelgröße verwendet wird. Die Messung der Emission erfolgt insbesondere in Frequenzbereichen über 100 kHz. Die Einflußnahme auf den Schneidprozeß erfolgt vorzugsweise über die Schnittgeschwindigkeit oder (bei Drahtsägen mit Slurry) den Slurrydurchfluß bzw. die Slurrytemperatur.Das erfindungsgemäße Verfahren kann in einer Vorrichtung ausgeführt werden, die akustische Sensoren (31, 32) enthält, welche mit einer Auswerte- und Regeleinheit (33-44) verbunden sind, welche ihrerseits über eine Steuerleitung mit der Schneid- oder Sägemaschine (45) verbunden ist.</p> |
