发明名称 晶圆层级封装之结构与方法
摘要 一种晶圆层级封装之结构与方法。可应用于至少两个晶片的封装,且其封装的体积大小,与晶片的总体积大小几乎相同。提供第一晶片,在完成其焊垫重分布之后,形成一绝缘柱,以防止在后续模压或涂布步骤中,污染上锡球的区域。接着,提供第二晶片,利用绝缘胶带或不导电胶,再将第一晶片粘在第二晶片上。以第二晶片为基础进行打线作业,使第二晶片之讯号未来在使用时能经金线传输至第一晶粒表面之焊垫重分布层。利用压模或涂布,完成打线的保护及第一及第二晶片之固定。接着,在第一晶片上进行植球作业,以提供与外界电路或元件电性连接之途径。
申请公布号 TW444306 申请公布日期 2001.07.01
申请号 TW088100968 申请日期 1999.01.22
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 杨德生;何凯光
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种圆晶层级之封装结构,包括:一第一晶粒;一焊垫重分布层,在第一晶粒的第一表面上;一绝缘体,在该焊垫重分布层上,靠近周围的部分;一第二晶粒,利用一绝缘材料粘贴在该第一晶粒的一第二表面上;至少一金属线,由该第一晶粒之焊垫重分布层,绝缘体的外围连接至该第二晶粒与该第一晶粒的接合面;一金线固定保护材料,固定住该金属线,并覆盖住该第二晶粒的接合面;以及复数个锡球,在该焊垫重分布层上,该绝缘体所包围的区域。2.如申请专利范围第1项所述之封装结构,其中该第一晶粒之面积小于该第二晶片的面积。3.如申请专利范围第1项所述之封装结构,其中该第一晶片和该焊垫重分布层之间,又包括了一聚亚醯胺层。4.如申请专利范围第1项所述之封装结构,其中该金属线包括一金线。5.如申请专利范围第1项所述之封装结构,其中该绝缘体包括一绝缘胶带或一非金属。6.如申请专利范围第1项所述之封装结构,其中该固定及保护材料包括一树脂或一液态化合物。7.一种晶圆层级的封装方法,包括:提供一第一晶片;对该第一晶粒进行焊垫重新分布;在该第一晶粒上,靠近周围部分形成一绝缘体;利用一绝缘胶带或不导电胶,将第一晶片粘贴在一第二晶粒上;形成至少一金属线,电性连接该第一晶粒及该第二晶粒;形成一金属线之固定保护材料;以及形成复数个锡球,电性连接该第一晶粒。8.如申请专利范围第7项所述之方法,其中该第一晶片之面积小于该第二晶片之表面积。9.如申请专利范围第7项所述之方法,更包括在该第一晶片形成一焊垫重分布层的步骤。10.如申请专利范围第7项所述之方法,其中该金线包括一金线。11.如申请专利范围第7项所述之方法,其中该固定保护材料是利用压模方式形成的。12.如申请专利范围第11项所述之方法,其中该固定保护材料包括树脂。13.如申请专利范围第7项所述之方法,其中该固定保护材料是利用涂布方式形成的。14.如申请专利范围第13项所述之方法,其中该固定保护材料包括液态化合物。15.一种晶圆层级的封装方法,包括:提供一第一晶圆,该晶圆上包括复数个第一晶粒;该些第一晶粒进行焊垫重分布,并在该些第一晶粒上各形成一焊垫重分布层;在该些焊垫重布层上,形成复数绝缘体,以定义包围出一植球预定区;对该第一晶圆进行晶粒切割,以一一分离该些第一晶粒;提供一第二晶圆,该第二晶圆包括复数个第二晶粒;在该些第二晶粒上,各粘贴上一个该些第一晶粒;形成复数条金属线,由该些焊垫重分布层上,该绝缘体之外围,连接至所对应之该些第二晶粒;形成该些金属线之复数个保护材料层;在该些植球预定区上形成复数个锡球;对该第二晶圆进行晶粒切割。16.如申请专利范围第15项所述之方法,其中该些第一晶粒之面积小于该些第二晶粒之面积。17.如申请专利范围第15项所述之方法,其中该固定保护材料是利用压模方式形成的。18.如申请专利范围第17项所述之方法,其中该固定保护材料包括树脂。19.如申请专利范围第15项所述之方法,其中该固定保护材料是利用涂布方式形成的。20.如申请专利范围第19项所述之方法,其中该固定保护材料包括液态化合物。图式简单说明:第一图所绘示为一种习知多晶片型封装。第二图A及第二图B绘示出依照本发明之一较佳实施例中,晶粒上焊垫重分布之剖面示意图。第三图A至第三图C绘示出依据本发明所提供之一种封装方法及结构。第四图绘示出依据本发明所提供之另一种封装方法及结构。
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