发明名称 Fremgangsmåte til fremstilling av selvregistrerende ikke- litografiske transistorer med ultrakorte kanallengder
摘要
申请公布号 NO314738(B1) 申请公布日期 2003.05.12
申请号 NO20010005837 申请日期 2001.11.29
申请人 GUDESEN, HANS GUDE 发明人 GUDESEN, HANS GUDE
分类号 G02F1/00;H01L21/335;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/335 主分类号 G02F1/00
代理机构 代理人
主权项
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