发明名称 |
喷头、薄膜制造装置以及制造方法 |
摘要 |
提供一种可在生产性、批量生产性上优异的薄膜制造装置以及制造方法,该薄膜制造装置再现根据成膜条件可进行温度控制的喷头、良好的膜厚分布、组成分布、成膜速率,同时,可长期稳定地进行粒子数少的连续成膜。其构成为,将喷头构造组装到成膜槽的上盖,通过在上盖上设置热交换装置,对上盖进行温度控制,在构成喷头表面的喷淋板和上盖的接触面上进行热交换,根据成膜条件,可对喷头进行温度控制。是在成膜槽上具有该喷头的薄膜制造装置,使用该装置制造薄膜。 |
申请公布号 |
CN1584109A |
申请公布日期 |
2005.02.23 |
申请号 |
CN200410056309.9 |
申请日期 |
2004.08.06 |
申请人 |
爱发科股份有限公司 |
发明人 |
山田贵一;增田健;梶沼雅彦;西冈浩;植松正纪;邹红罡 |
分类号 |
C23C16/44;C23C16/455 |
主分类号 |
C23C16/44 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
陈伟 |
主权项 |
1.一种喷头,是从可进行真空控制的成膜槽的上部,通过喷头将成膜气体导入槽内的上部空间,在基板上成膜的薄膜制造装置的喷头,其特征在于,其构成为,喷头构造组装于成膜槽的上盖,通过在上盖上设置热交换装置,对上盖进行温度控制,在构成喷头表面的圆盘状的喷淋板与该上盖的接触面上进行热交换,根据成膜条件,可对喷头进行温度控制。 |
地址 |
日本神奈川 |