| 摘要 |
<p>Es ist ein möglichst vielseitig einsetzbarer Drucksensor-Chip zur Messung von Differenzdrücken beschrieben, der bei hohen Temperaturen einsetzbar ist, mit einem Träger (1) aus Silizium, einer auf dem Träger (1) angeordneten Oxidschicht (3), einer auf der Oxidschicht (3) angeordneten Siliziumschicht (5), einer auf der Siliziumschicht (5) angeordneten Isolierschicht (7), und einer in dem Träger (1) vorgesehenen Ausnehmung (9), die einen eine Differenzdruckmessmembran (11) bildenden Bereich des daran angrenzenden Verbundes aus Oxidschicht (3), Siliziumschicht (5) und Isolierschicht (7) freilegt, deren von einem darauf einwirkenden Differenzdruck abhängige Auslenkung durch mindestens ein piezoresistives Element (13) erfasst wird, dass auf der von der Ausnehmung (9) abgewandten Seite der Isolierschicht (7) der Differenzdruckmessmembran (11) angeordnet ist.</p> |
