| 摘要 |
[과제] 도전성을 갖는 재료로 이루어지며, 밀집한 다수의 공극을 흡착면에 가지고 가공 대상물에 대한 흡착력이 균일한 흡착 테이블을 제공한다. [해결수단] 상면(11)으로 개구되는 공기 유로(14)가 형성되어 있는 금속 받침대(1)와, 금속 분말을 서로 결합시켜 판상으로 형성하여 구성된 금속 흡착판(2)으로서, 흡착면(22)과 그 반대측에 있는 저면(23)과, 흡착면(22)과 저면(23)을 연통하는 복수의 기공을 가지며, 상기 기공은 각각 인접하는 상기 금속 분말간의 공극이 연속적으로 구성된 기공인 금속 흡착판(2)을 구비하고, 금속 흡착판(2)의 저면(23)이 금속 받침대(1)의 상면(11)에 재치됨과 동시에, 금속 받침대(1)의 공기 유로(14)에 부압이 부여되면, 상기 기공을 통해서 흡착면(22)으로 상기 부압이 전해져 가공 대상물을 흡착면(22)에서 흡착 홀딩할 수 있도록 구성되어 있는 흡착 테이블. |
