| 摘要 |
본 발명은 진공펌프의 소비전력 절감용 감압장치에 관한 것으로, 진공펌프의 아이들링 운전시 이송가스 흐름에 의한 썩션현상을 이용하여 진공펌프의 배기측 압력을 감소시켜 진공펌프의 소비전력을 절감하면서도 진공펌프의 정상 운전시에는 반응부산물 가스의 흐름을 원활하게 수용할 수 있게 되어 별도의 분기관을 마련할 필요 없이 진공펌프의 배기배관에 직렬로 연결하는 것이 가능하도록 한 것이다. 이러한 본 발명은, 진공펌프의 배기배관에 연결되고 내부 일지점에는 펌핑 공기가 통과하는 통공을 갖는 중간판이 구비된 메인본체와; 메인본체의 유입구 인근 외벽을 관통한 후 메인본체의 내부에서 중간판의 통공을 통과하도록 형성되어 메인본체의 유출구 쪽으로 이송가스를 분사하되, 중간판을 기준으로 메인본체의 유입구 쪽에는 진공펌프로부터 배출되는 펌핑 공기를 흡입하기 위한 흡입공이 형성된 노즐부와; 노즐부에 관통된 상태로 진퇴 가능하도록 설치되며, 메인본체 내부에 유입되는 펌핑 공기의 압력이 일정 미만이면 후퇴된 상태로 상기 중간판의 통공을 차단하여 상기 노즐부의 흡입공을 거쳐 노즐부의 내부를 통해서만 펌핑 공기가 흐를 수 있도록 유도하고, 메인본체 내부에 유입되는 펌핑 공기의 압력이 일정 이상이면 전진한 상태로 중간판의 통공을 개방하여 펌핑 공기가 중간판의 통공을 통해 흐르도록 허용하는 체크디스크를 포함한다. |
