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发明名称 DIFFUSION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5360165(A) 申请公布日期 1978.05.30
申请号 JP19760134977 申请日期 1976.11.10
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 TSUNODA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/74;H01L21/22 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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