发明名称 METHOD OF FINELY WORKING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS53110070(A) 申请公布日期 1978.09.26
申请号 JP19770024487 申请日期 1977.03.08
申请人 发明人
分类号 H05K3/46;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306;H05K3/02;H05K3/06 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人
主权项
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