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经营范围
发明名称
PARALLEL TESTER
摘要
申请公布号
JPS6412542(A)
申请公布日期
1989.01.17
申请号
JP19870169036
申请日期
1987.07.07
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
NOMURA YUJI
分类号
H01L21/66;G01R31/26
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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