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发明名称 SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 JPH02205668(A) 申请公布日期 1990.08.15
申请号 JP19890023351 申请日期 1989.01.31
申请人 KOBE STEEL LTD;SHINKO ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAGAMI AKIMITSU;TACHIBANA HIROYUKI;ONISHI YOSHIHIKO;KUBOTA TAKASHI;SUGIYAMA HAYAMI;OGURA KENJI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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