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发明名称 VHF/UHF REACTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04247878(A) 申请公布日期 1992.09.03
申请号 JP19910190294 申请日期 1991.07.30
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 KENISU ESU KORINZU;KUREIGU EI ROODERITSUKU;CHIYAN RON YAN;DEIBUITSUDO ENU KEI WAN;DAN MEIDAN
分类号 C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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