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发明名称 FLAT MOTOR DEVICE AND ASSEMBLY METHOD THEREOF, FLAT MOTOR DEVICE DRIVING METHOD, STAGE DEVICE AND DRIVING METHOD THEREOF, EXPOSURE SYSTEM AND EXPOSURE METHOD, AND DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20010099815(A) 申请公布日期 2001.11.09
申请号 KR1020017006721 申请日期 2001.05.30
申请人 发明人
分类号 H02K41/03 主分类号 H02K41/03
代理机构 代理人
主权项
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