| 摘要 |
<p>Dans un système de pompage à vide selon l'invention, la pompe primaire sèche multi-étagée de type Roots ou claw refoule dans un étage de sortie comprenant une pompe additionnelle (6) à pistons ou à membranes raccordée en parallèle avec une canalisation de prévidage (7) munie d'un clapet anti-retour (11). L'étage de sortie réduit très sensiblement l'échauffement de la pompe primaire (1), et permet ainsi au système de pompage à vide de pomper efficacement et sans dommages des gaz à faible conductivité thermique tels que l'argon ou le xénon. <IMAGE></p> |
