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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54105476(A) 申请公布日期 1979.08.18
申请号 JP19780012174 申请日期 1978.02.06
申请人 SONY CORP 发明人 SUZUKI NORIO
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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