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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02229429(A) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 JP19890050356 申请日期 1989.03.01
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 SUEHIRO TOSHIHIDE
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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