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发明名称 PRECURSORS FOR METAL FLUORIDE DEPOSITION AND USE THEREOF.
摘要
申请公布号 EP0407457(B1) 申请公布日期 1994.03.02
申请号 EP19890904822 申请日期 1989.03.31
申请人 THE SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE IN HER BRITANNIC MAJESTY'S GOVERNMENT OF THE UNITED KINGDOM OF GREAT BRITAIN AND 发明人 MACKEY, KEVIN, JAMES;VERE, ANTHONY, WORSWICK;BRADLEY, DONALD, CHARLTON;FRIGO, DARIO, MARCELLO;FAKTOR, MARC MARIAN
分类号 C30B29/12;C07F3/04;C23C16/30;C30B25/02;H01L21/205;H01L21/314;H01L21/84;H01L27/12;(IPC1-7):C23C16/22 主分类号 C30B29/12
代理机构 代理人
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