| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06252044(A) |
申请公布日期 |
1994.09.09 |
| 申请号 |
JP19920158907 |
申请日期 |
1992.05.27 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
JIYON DEBUITSUDO KASUBAATO;CHIYONNCHIEN FU;KURAURU RAAMAN URASUPO |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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