摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen pH-sensitiven Mikrosensor mit Sensormembran. Dabei ist die Sensormembran mit Hilfe der Laserablation gebildet. Sie kann aus Aluminiumoxid oder einem anderen Material durch Ablation hergestellt sein. Auf diese Weise wird ein Sensor mit sehr geringer Driftrate erhalten.</p> |