发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE TESTING DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH11248796(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980045917 申请日期 1998.02.26
申请人 ANDO ELECTRIC CO LTD 发明人 SHIBAZAKI SHUNICHIRO;SUGIZAKI TAKAYUKI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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