发明名称 MANUFACTURE OF CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH11248579(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980359252 申请日期 1998.12.17
申请人 HOKURIKU ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TANAKA ATSUSHI;KANAZAWA KATSUHISA
分类号 G01L9/12;G01L19/14;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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