发明名称 |
MANUFACTURE OF CAPACITIVE PRESSURE SENSOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11248579(A) |
申请公布日期 |
1999.09.17 |
申请号 |
JP19980359252 |
申请日期 |
1998.12.17 |
申请人 |
HOKURIKU ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TANAKA ATSUSHI;KANAZAWA KATSUHISA |
分类号 |
G01L9/12;G01L19/14;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 |
主分类号 |
G01L9/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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