发明名称 Method for applying flat outer electrodes to a piezoceramic multi-layer actutator
摘要 본 발명은 압전 세라믹 다층 액추에이터 상에 평평한 외부 전극(15, 16)을 제공하기 위한 방법에 관한 것이며, 대향된 외부면을 향해 교대로 안내되는 내부 전극(12)은 상기 외부 전극(15, 16)을 통해 각각 평행 접속된다. 상기 외부 전극(15, 16)이 제공될 외부면은 우선 습식 화학적으로 예비 처리된다. 외부 금속 코팅(13, 14)은 니켈 및/또는 구리를 전류 없이 디포짓하고, 주석 또는 주석 합금을 갈바닉 디포짓함으로써 제조된다. 마지막으로 상기 외부 전극(15, 16)은 보호 가스 하에 납땜된다. 상기 방법을 통해 매우 견고하게 점착된 베이스 금속 코팅 및 양호하게 납땜될 수 있는 마무리 금속 코팅이 얻어지며, 상기 방법은 대량 생산에 적합하다.
申请公布号 KR20020030121(A) 申请公布日期 2002.04.22
申请号 KR20027003659 申请日期 2002.03.20
申请人 发明人
分类号 C23C18/18;H01L41/047;H01L41/083;H01L41/29;H01L41/293 主分类号 C23C18/18
代理机构 代理人
主权项
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