光学装置

摘要

一种包含多个光学组件(12A，B)的光学装置(10)。每个光学组件(12A，B)均包括一个固定地结合到一个相对基准装配台(18A，B)的光学部件(14A，B)。相对基准装配台(18A，B)设置附着在一个基片(20)上。多个光学组件(12A，B)装配在基片(20)上以形成光学装置(10)。

主权项

1.一种光学装置，包括：一个具有第一对准件和第二对准件的固定基准装配台；第一光学组件，包括：一个光学部件，所述光学部件具有基于光学部件在空间中的位置相对于至少一维变化的光学特性且其中部件的可变性引起该光学特性的可变性；一个相对基准装配台，它包括设置与固定基准装配台的第一对准件对准的、具有三维形状的一个对准件，光学部件，所述光学部件保持在相对于该对准件的某一预先对准的空间方位，以在将相对基准装配台放置在固定基准装配台中之前针对光学部件的光学特性的可变性进行调节，由此光学元件以六个自由度相对于相对基准装配台的对准件固定，其中在固定基准装配台上相对基准装配台和固定基准装配台之间的对准以六个自由度可重复；及第二光学组件，包括：一个光学部件，所述光学部件具有基于光学部件在空间中的位置相对于至少一维变化的光学特性且其中部件的可变性引起该光学特性的可变性；以及一个相对基准装配台，它包括设置与固定基准装配台的第二对准件对准的、具有三维形状的一个对准件，光学部件，所述光学部件保持在相对该对准件的某一预先对准的方位，以在将相对基准装配台放置在固定基准装配台中之前针对光学部件的光学特性的可变性进行调节，由此光学元件以六个自由度相对于相对基准装配台的对准件固定，其中在固定基准装配台上相对基准装配台和固定基准装配台之间的对准以六个自由度可重复。