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发明名称
摘要
申请公布号 JP3946130(B2) 申请公布日期 2007.07.18
申请号 JP20020336837 申请日期 2002.11.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/44;H01J37/32 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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