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发明名称
METHOD OF ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号
GB2098818(A)
申请公布日期
1982.11.24
申请号
GB19820010793
申请日期
1982.04.14
申请人
HITACHI LTD
发明人
分类号
G11C11/14;H01F10/24;H01F41/14;H01F41/32;H01F41/34;(IPC1-7):G11C19/02
主分类号
G11C11/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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