发明名称 MAGNETIC TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04275449(A) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 JP19910037177 申请日期 1991.03.04
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 KANEKO AKITAMI
分类号 B65G47/68;B65G49/00;B65G49/07;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B65G47/68
代理机构 代理人
主权项
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