发明名称 Rastertastmikroskop
摘要
申请公布号 DE69213562(T2) 申请公布日期 1997.02.13
申请号 DE1992613562T 申请日期 1992.06.05
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUDA, HIROSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;KAWADE, HISAAKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;EGUCHI, KEN, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;YANAGISAWA, YOSHIHIRO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;TAKEDA, TOSHIHIKO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q30/20;G01Q60/10;G01Q80/00;G01Q90/00;G11B9/00;G11B9/14;(IPC1-7):G01B7/34;G01N27/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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