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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR POLISHING MIRROR SURFACE OF WAFER PERIPHERY
摘要
申请公布号 JPH09109010(A) 申请公布日期 1997.04.28
申请号 JP19960135422 申请日期 1996.05.29
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD;NAOETSU DENSHI KOGYO KK 发明人 HASEGAWA FUMIHIKO;KURODA YASUYOSHI;ENDO SHINICHI;SEKIZAWA MASAYOSHI
分类号 B24B9/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/00 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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